隨著全球能源危機(jī)和環(huán)境問題的加劇，人們對清潔能源的需求日益增加。氫作為一種來源豐富、綠色低碳、高效的應(yīng)用廣泛的二次能源成為了人們關(guān)注的焦點之一。在能源領(lǐng)域正逐步成為全球能源轉(zhuǎn)型發(fā)展的重要載體之一，燃?xì)廨啓C(jī)是一種常見的能源轉(zhuǎn)換裝置，將化學(xué)能轉(zhuǎn)換為機(jī)械能。

氫氣作為燃?xì)廨啓C(jī)的燃料用清潔的氫燃料通過使用升級改造后的燃?xì)廨啓C(jī)發(fā)電，空氣和氫氣分別經(jīng)壓氣機(jī)與泵增壓后送入燃燒室，燃燒并釋放出熱能。燃燒所產(chǎn)生的燃?xì)馕鼰岷鬁囟壬�高，然后流入燃�(xì)廨啓C(jī)膨脹做功，產(chǎn)生的廢氣排入余熱鍋爐進(jìn)行熱交換，提升余熱鍋爐中的水溫后，經(jīng)煙氣脫硝系統(tǒng)排入大氣。在所有運行方式下需要了解控制調(diào)節(jié)、監(jiān)視和報告機(jī)組狀況。通常控制系統(tǒng)包括啟動控制系統(tǒng)、轉(zhuǎn)速控制系統(tǒng)以及溫度控制系統(tǒng)等。主要功能有實現(xiàn)機(jī)組啟動（含盤車、清吹、點火、暖機(jī)等）和停機(jī)的動作過程；實現(xiàn)按需求進(jìn)行加、減負(fù)荷；調(diào)節(jié)被控制轉(zhuǎn)子或軸轉(zhuǎn)速；調(diào)整燃料控制系統(tǒng)或空氣質(zhì)量流量控制系統(tǒng)以獲得所設(shè)定的透平溫度值；控制其它關(guān)鍵參數(shù)（如溫度、壓力、輸出功率、推力、間隙等）等。

因而燃?xì)廨啓C(jī)主要通過控制進(jìn)入燃?xì)廨啓C(jī)燃燒室的燃料流量來改變?nèi)細(xì)廨啓C(jī)的運行工況為監(jiān)測燃汽輪機(jī)氫氣質(zhì)量流量和控制工采網(wǎng)推薦美國Siargo MEMS氣體質(zhì)量流量控制器- MFC2000系列流量控制范圍從幾毫升到200L/min的流量選擇。MFC2000質(zhì)量流量控制器采用SIARGO公司專有的MEMS流量傳感芯片，集成了時域流量傳感技術(shù)和智能電子技術(shù)。與市場上傳統(tǒng)的量熱式流量傳感技術(shù)相比，這種獨特的時域流量傳感技術(shù)消除了一些常見氣體的敏感性。而對于另外一些敏感性氣體，可以配合軟件實現(xiàn)氣體識別。MEMS芯片表面采用氮化硅陶瓷材料鈍化，并結(jié)合防水、防油納米涂層，產(chǎn)品性能和可靠性得以大幅提高。時域流量傳感技術(shù)還提供了更好的線性度,并使溫度效應(yīng)大幅降低。

       原文標(biāo)題 : 氣體質(zhì)量流量控制器在燃汽輪機(jī)氫氣質(zhì)量流量和控制中的技術(shù)方案