巨大的下游市場配合積極的國家產(chǎn)業(yè)政策與活躍的社會(huì)資本，正在全方位、多角度地支持國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展，共同推動(dòng)我國靜電吸盤（ESC）等半導(dǎo)體配套設(shè)備國產(chǎn)化穩(wěn)步進(jìn)行，為中國靜電吸盤（ESC）廠商的發(fā)展壯大創(chuàng)造了機(jī)遇。

靜電吸盤又稱靜電卡盤（英文簡稱：ESC或E－Chuck）是一種利用靜電吸附原理夾持固定被吸附物的夾具，適用于真空及等離子體環(huán)境，主要作用是吸附超潔凈薄片（如硅片），并使吸附物保持較好的平坦度，可以抑制吸附物在工藝中的變形，還能夠調(diào)節(jié)吸附物的溫度。

靜電吸盤相較于機(jī)械卡盤，減少了機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件，顆粒污染降低，增大了晶片的有效面積；與真空吸盤比較，靜電吸盤可用于低壓強(qiáng)（真空）環(huán)境，適用于需要利用卡盤控制晶片溫度的場合。鑒于以上優(yōu)點(diǎn)，靜電吸盤現(xiàn)已在半導(dǎo)體、平板顯示、光學(xué)元件、太陽能光伏等領(lǐng)域中被廣泛采用。

靜電吸盤（ESC）行業(yè)的發(fā)展與半導(dǎo)體設(shè)備配套需求密切相關(guān)。近年來，隨著國家加大半導(dǎo)體領(lǐng)域的投入，我國半導(dǎo)體設(shè)備采購額逐年增加，推動(dòng)了包括靜電吸盤（ESC）在內(nèi)的核心部件的采購量增長。此外，隨著中國大陸晶圓產(chǎn)能的建設(shè)和擴(kuò)產(chǎn)，中國成為全球晶圓產(chǎn)能增長的重心，帶動(dòng)國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備的需求增長，為國產(chǎn)靜電吸盤（ESC）的發(fā)展提供了良好的機(jī)遇。

根據(jù)新思界產(chǎn)業(yè)研究中心發(fā)布的《2020年全球及中國靜電吸盤（ESC）產(chǎn)業(yè)深度研究報(bào)告》，2019年，全球地區(qū)靜電吸盤（ESC）市場規(guī)模為34．13億元，其中，北美地區(qū)靜電吸盤（ESC）市場規(guī)模為12．78億元，歐洲地區(qū)靜電吸盤（ESC）市場規(guī)模為9．10億元，中國靜電吸盤（ESC）行業(yè)市場規(guī)模為2．56億元。

全球靜電吸盤市場具有高度壟斷性，由日本和美國企業(yè)主導(dǎo)，美國企業(yè)主要有美國AMAT（應(yīng)用材料）、美國LAM（泛林集團(tuán)），日本企業(yè)主要有Shinko（新光電氣）、TOTO、NTK CERATEC等。國際巨頭長期控制著全球靜電吸盤產(chǎn)品的供應(yīng)鏈，市場集中度較高。

中國靜電吸盤行業(yè)發(fā)展時(shí)間較短，目前正處于起步階段，市場競爭力較弱。除了北京華卓精密科技股份有限公司、廣東海拓創(chuàng)新精密設(shè)備科技有限公司已經(jīng)實(shí)現(xiàn)商業(yè)化生產(chǎn)外，其他大部分企業(yè)，如北京軟體機(jī)器人科技有限公司、浙江新納陶瓷新材有限公司、中山市思考電子科技有限公司尚處于研發(fā)階段，目前僅能進(jìn)行靜電吸盤的維修以及更換，在生產(chǎn)方面尚不成熟。

新思界行業(yè)研究員表示，中國擁有全球最大且增速最快的半導(dǎo)體消費(fèi)市場。2019年，中國集成電路產(chǎn)業(yè)產(chǎn)值達(dá)7562億元，比2018年增長15．77％。然而，我國國產(chǎn)設(shè)備及靜電吸盤（ESC）等核心部件的國產(chǎn)化率仍較低，具有較強(qiáng)的替代需求。巨大的下游市場配合積極的國家產(chǎn)業(yè)政策與活躍的社會(huì)資本，正在全方位、多角度地支持國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展，共同推動(dòng)我國靜電吸盤（ESC）等半導(dǎo)體配套設(shè)備國產(chǎn)化穩(wěn)步進(jìn)行，為中國靜電吸盤（ESC）廠商的發(fā)展壯大創(chuàng)造了機(jī)遇。

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