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預(yù)見2020：2020年中國(guó)離子注入機(jī)產(chǎn)業(yè)全景圖

企業(yè)分析——中美日三國(guó)領(lǐng)銜

全球離子注入機(jī)的領(lǐng)先企業(yè)主要分布在中國(guó)、美國(guó)和日本，其中，中國(guó)大陸擁有凱世通和中科信兩家離子注入機(jī)行業(yè)的龍頭企業(yè)，其中凱世通在光伏離子注入機(jī)方面遙遙領(lǐng)先。而美國(guó)則擁有近乎壟斷IC離子注入機(jī)市場(chǎng)的應(yīng)用材料，以及漢辰科技、Axcelis、intevac等企業(yè)。日本也擁有日新、日本真空、住友重工等離子注入機(jī)知名廠商。

圖表9：離子注入機(jī)相關(guān)領(lǐng)先企業(yè)

但我國(guó)企業(yè)在IC離子注入機(jī)制造方面距離世界頭部企業(yè)仍有一定的距離，離子注入機(jī)研發(fā)進(jìn)度仍待加快。

我國(guó)離子注入機(jī)相關(guān)領(lǐng)先企業(yè)技術(shù)進(jìn)展情況如下所示：

圖表10： 我國(guó)刻蝕設(shè)備相關(guān)領(lǐng)先企業(yè)技術(shù)進(jìn)展情況(單位：nm)


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