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半導體設備

【1】行業(yè)地位、概述與國產(chǎn)化情況

除了材料,半導體產(chǎn)業(yè)鏈的運轉還少不了半導體設備的支持。

半導體設備主要包括硅片設備、熱處理設備、光刻設備、刻蝕設備、離子注入設備、薄膜沉積設備、拋光設備、清洗設備、檢測設備這九類。其總投資約占晶圓廠建設投資的75-80%,且絕大多數(shù)設備存在相當高的技術壁壘,幾乎是我國實現(xiàn)半導體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控之路中最關鍵的領域。

而2020年我國半導體設備國產(chǎn)化率僅為16%,收入體量最大的半導體設備公司北方華創(chuàng)占全球設備份額也不足1%,任重而道遠。

其中,光刻機是半導體生產(chǎn)設備中技術壁壘最高的設備,每一臺都需要數(shù)百天的打磨,其作用光刻又是晶圓制造的核心環(huán)節(jié),即將設計好的電路圖從光刻版轉印到晶圓表面的光刻膠上,便于后續(xù)通過刻蝕和離子注入等工藝實現(xiàn)設計電路。因此在光刻機領域具有壟斷地位的荷蘭企業(yè)ASML在全球半導體行業(yè)舉足輕重,去年全年僅售賣258臺光刻機,營收卻高達一千多億,真正的千金難求。

我國要想自主生產(chǎn)的話,就不僅僅是光刻機的問題,要涉及到上千家供應商,現(xiàn)在制作它的設備和材料主要是美國、德國、日本、中國臺灣提供,美國為主,所以說得建成龐大的產(chǎn)業(yè)鏈,在這么多的高科技領域領先才能搞定光刻機。中芯國際在先進制程上難以進步的原因,起到?jīng)Q定性作用的就是美國對中芯購買ASML EUV光刻機的阻撓。

【2】龍頭公司簡析

北方華創(chuàng):國產(chǎn)半導體設備的絕對龍頭,平臺屬性強。深耕芯片制造刻蝕、薄膜沉積領域近20年,已成為國內(nèi)領先的半導體高端工藝裝備及一站式解決方案的供應商,客戶覆蓋中芯國際、華虹、三安光電、京東方等各產(chǎn)業(yè)鏈龍頭。

中微公司:國內(nèi)介質(zhì)刻蝕設備和MOCVD設備雙龍頭,實行外延式發(fā)展戰(zhàn)略,介質(zhì)刻蝕機已打入 5nm 制程,技術接近世界級水準。

精測電子:檢測設備龍頭,對半導體測試領域設備實現(xiàn)全覆蓋。在半導體膜厚、Memory、Driver IC三大領域深度布局,未來有望隨著半導體設備業(yè)務放量迎來第二波黃金成長期。

華峰測控:測試機設備龍頭,產(chǎn)品從模擬和混合信號測試設備拓展至SoC測試。技術接近世界一流水平,進入了封測龍頭供應鏈,毛利達到80%。

晶盛機電:國內(nèi)晶體硅生長設備龍頭,國內(nèi)高端市場占有率第一,在光伏、半導體硅片、藍寶石、SiC等四個領域均有成熟布局。同時公司還延伸到切、磨、拋、外延等生長后處理階段,成長為晶體制造一體化設備龍頭。

芯源微:國內(nèi)中高端涂膠顯影設備領導者,成功打破了國外廠商壟斷,是國內(nèi)唯一能提供中高端涂膠顯影設備的企業(yè),下游客戶覆蓋國內(nèi)大部分LED芯片制造企業(yè)和高端封裝企業(yè)。